上海某前沿科創(chuàng)企業(yè) TLRB系列標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測試探針臺 交付驗收

核心指標(biāo)：

真空吸附卡盤：6英寸

樣品臺位移精度：<10μm

探針座位移精度：<3μm

漏電流精度：<10pA

兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試

是半導(dǎo)體材料或器件電學(xué)測試的理想選擇。

TLRB系列探針臺簡單介紹：

.模塊化設(shè)計，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試；

. 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試;

.探針臺整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺精密四維調(diào)節(jié)；

. 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試；

. 滿足1μm以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動，無回程差設(shè)計;

. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；

. 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動方式。