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詳細介紹
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產品介紹
TLPH系列精密型光電測試探針臺是基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來，實現高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路，實現光電流與IV的雙功能檢測，是光電芯片/器件測試的理想之選。
技術優(yōu)勢
.模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試；
. 最大可用于12寸以內樣品測試;
.探針臺整體位移精度高達3um，樣品臺精密四維調節(jié)；
. 激光顯微鏡，5檔物鏡轉盤，可引入激光完成光電流測試；
. 滿足1um以上電極/PAD使用;
. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）;
. 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計;
. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；
. 配顯微鏡三維精密調節(jié)功能，且可選配多種行程及驅動方式。
模塊介紹
通用參數
常規(guī)選型
相關配件
多種精度，多種夾具類型探針座
同軸線纜，三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學測試夾具
電磁屏蔽箱
應用領域
半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據客戶實際應用需求，定制配套精密型光電測試探針臺，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯系詳詢。
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